2001/11/7 第33号
エレショー技報              (有)安部実装技術研究所
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内容
■ファインプレスU    
■海外SMT技術情報  「高性能メモリー用ICパッケージのあるべき姿」 
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■「ファインプレスU」    アイセル(株)

CSP・TABテープ、フレキシブル基板、銅箔、アルミ箔専用の精密送り機構
と打抜機を一体にした装置です。高精度位置合わせ、任意の打抜きスピード、
クラッチレスで発塵少なく、リニアグリープフィーダーにより高速送りと
1ストローク内での異なったピッチ送りが可能です。エンボスキャリアテー
プ機及びTABスペーサーテープ機の製造も行っております。

詳細は www.eleshow.com/ の 4-4-9 をご覧下さい。
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■海外SMT技術情報     
      「高性能メモリー用ICパッケージのあるべき姿」

要 約
CSPが急速に広がっている。アレー方式は部品の接続効率が良く、高さが小
さく高密度に理想的である。今日の電子製品ではより高速処理が求められ、
コントローラー、プロセッサー、メモリー間の直接的やり取りと連係が要求
される。例えば最新世代のRDRAMメモリー技術はインテルの新しいチップと
適合するよう開発された。それは1GHzを超える処理速度を備え、PCプロセッ
サーの2倍の速度である。
これら高速のシリコンダイをパッケージする必要から、Tesseraはレーザー
法ミクロビァを採用し、両面銅箔のフレキポリイミドフィルムをベースとし
たインターポーザー基材を開発した。
CSPは実績のあるμBGA材料システムに性能・信頼性共に立脚している。二層
のインターポーザー構造はダイとボールを直結し、頑丈なグランド面を備え
ている。以下にプロセスと設計を要約して示す。

序 言
CSPは業界で広く使われており、寸法/性能比が小さい。ハンディ電子製品は
自然な目標であり、更に自動車用、医療・診断用などすべて小型化に進んで
いる。大量のメモリーデバイスがメモリーCSPに使用されており、更にDSP、
コントローラー、CPUや多数の特定用途向けのICデバイスもまたCSP化するも
のと考えられる。
メモリーパッケージ用には性能が問題となる。RDRAM、DDR(Double date role)
、SDRAM用には、最短信号径路が必要となる。
バンプ接合μBGAパッケージは、ワイヤボンドμBGAパッケージと同様に、短
いインターフェースを提供する。その構造は物理的に柔軟であり、ダイと基
板の間の熱膨張の差を補償することに寄与する。
このバッケージ技術は各種のダイ設計に適合でき、従来法にも適合する。そ
の柔軟なバッケージ概念は工業界に広く受け入れられている。接合方式の異
なる(バンプとワイヤー)二種類のμBGAは外見上よく似ている。図1にμBGA
バッケージ断面を示す。
図1(略)

高級なポリイミドフィルムをベース構造に採用し、ダイ上のアルミニウム接
合点とボールとの間にAuめっき/Cu層を使用している。低I/O数デバイスでは
ダイとボールの接続を一層とするのがよいが、複雑なダイでは二層を必要と
するであろう。全ての主要材料の物性を文末の表1に示した。
二つの導体層(2層メタルテープと呼ぶ)と、側面〜側面接触用としてめっ
きしたミクロビアホールとを使って、高いI/O数のバッケージを作ることが
できる。この二層メタルテーププロセスにより狭い回路配置(50μm以下)
が可能となり、更に電源・グランド・クロック線などのバッケージ上での接
続を可能にする。
[注意]:アレー配線面積がダイの面積を超えるときは、代わりのパターン
(ダイの外側にボール接点を分散させたパターン)を考えることができる

ダイ接合とリードボンディング
フレキシブルテープがマガジンからダイ装着機に搬送される。ダイ接着前、
各ヌビン(エラストマー弾性体)スペーサー上に、液状ゴム(エラストマー
)がディスペンス(吐出)される。ゴム塗付後、各ダイがフレキシブル基板
上に位置合わせ、搭載される。公差25μm以内で、毎時1,000ヶ以上搭載され
る。150℃で3分間の硬化が行なわれる。フレキシブルテープはリードボンダ
ーへと搬送される。
リードは図4の通り、ポリイミドフィルムの窓内の一端で終わる形状であり
、ダイ上の接合点にリードを位置合せする。この順序でリードはS字型の形
状にされ(図3参照)、最後にダイ上のアルミパッドに15ヶ/秒の高速で熱
超音波接着される。リード接続が終了するとテープはマガジンに移され、
次の工程に搬送される。
   図3、4(略)

μBGAパッケージ実装プロセス
デバイスは従来のダイ接着機とワイヤーボンダーで加工されるので、ハンド
リングや搬送は効率的に行なわれる。各デバイス面積は小さく、フレキテー
プ上に複数のユニットをアレー化、密着搭載もできる。ポリイミドテープの
幅は48mmが普通であるが、35mmと70mm幅のテープも供給されている。
          
より詳しくは、www.eleshow.com/ の海外技術情報をクリックし、2001.
11.5月号をご覧下さい。4頁にわたり図表入りで詳しく書いてあります。

また、全文をお読みになりたい方は、10月16日に発刊しました「2001最新
海外FC/CSP実装技術」をお求めください。(A4版100頁\48,000)
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