2002/1/31  第38号
エレショー技報              (有)安部実装技術研究所
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内容
■遊星式撹拌・脱泡装置クラボウマゼルスター   
■工程短縮アンダーフィル材(圧接型) 
■海外SMT技術情報 「有機基材上に実装したFCの信頼性」
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詳しくは  www.eleshow.com/ の表紙左側の「出展について」をご覧下さ
い。
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■「遊星式撹拌・脱泡装置クラボウマゼルスター」   倉敷紡績(株)

撹拌羽根・棒を使用しないで、撹拌と脱泡を同時に処理する、自公転方式
のミキサーです。公転と自転が独立可変で、公転/自転比の幅も広いので、
撹拌力/脱泡力の調整ができるだけでなく、フィラーの均一分散や処理温
度の調整等、プロ好みの運転が可能です。エポキシ・シリコン樹脂等の化
学材料や銀・カーボン・セラミック等の電機部材用ペースト、各種特殊イ
ンキ等々、様々なペーストやスラリーの処理に最適です。処理量に合わせ
てラインナップを取り揃えており、最大機種は5kg×2カップのKK-5000、
卓上小型機種のKK-50Sも今春新発売します。
     
  詳細は、www.eleshow.com/ の2-1-51 をご覧下さい。
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■工程短縮アンダーフィル材(圧接型)    サンスター技研(株)
    
-RD-0205-
生産性を考慮した圧接型のアンダーフィル材です。各種鉛フリーはんだ
に対応でき、ポストキュアー工程を省いたより機能性を高めた材料設計に
なっています。信頼性を損なうことなくはんだ接合とアンダーフィル材硬
化を同時に行い、非常に高いボイド・フリー性を有します。
<用途>
1.FC用封止材
2.セカンダリー・アンダーフィル材

  詳細は、www.eleshow.com/ の5-5-14をご覧下さい。
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■海外SMT技術情報 「有機基材上に実装したFCの信頼性」

要 旨
BGA有機基材へのFC使用が、新用途のため使われることが多い。FCPBGAの増
加は、電気的性能の利点、基板占有面積、実装の容易さ、優れた信頼性など
で説明される。最先端のパッケージは、より大きい寸法とより多いバンプ数
を持っている。本報は、フッ素樹脂基材を使うASIC(特定用途集積回路)ユ
ーザーへ、可能性予備調査を報告する。
有機BGA製造問題は、アンダーフィル(UF)・はんだ付け性・パッケージの
コプラナリティ(平坦性)・信頼性などを含んでいる。ここでは信頼性のあ
るFC接合と最小の反りを確保する実装技術、基材技術を説明する。また既知
の故障モデルを概観する。3Mの試験基板は40mm口、1521パッドBGAに11×2mm
のダイを搭載したものである。実装したパッケージを温度サイクルで評価し
た。UFのフィラー含量およびアンダーフィルシールフィレットの有無の影響
を検討した。断面解析とCSAM(C-mode Scanning Acoustic Microscopy)分
析を行った。

序 言
有機・高密度・ミクロビアFCパッケージは、高性能でローコストへの解答で
ある。3Mが特許権を持ち、Microlam絶縁材をベースとするVia on Chip
Pitch(VCP)FC基材はその一つの解答である。これらの基材はASICや電信用ス
イッチデバイスとして使用されている。
有機FCパッケージの第一レベル(ICをパッケージへ)接続には、信頼性につ
いて問題が残っている。高密度で大きいダイの場合、パッケージ有機絶縁基
材とIC間の熱膨張率(CTE)不一致が信頼性試験や使用中、応力を発生しパ
ッケージの故障を起こす可能性がある。
CTE不一致による応力は、ダイがはんだ付けされ、アンダフィル(UF)さ
れ、BGAにはんだボールが接続され、組立てられたパッケージで明白になる。
UFはFCのはんだ接合部の歪を減少させる。熱・機械的曝露は、IC回りの故障
をさせる。それらははんだ疲労だけでなく、ダイ貫通フラック、ダイ面内ク
ラックおよびUF剥がれを含んでいる。UF剥がれが起きる場合は、UF〜基材界
面ではなく、UF〜ダイ界面に発生する。最近UFの接着力と機械的性質の改良
が、大面積の有機FCパッケージの信頼性を大きく改善した。
多くのUF材料は55〜75%のフィラーを含んでいる。伝統的にUFのCTEははん
だ疲労を防ぐため、はんだのCTE(約25ppm)にすべきだと考えられてきた。
しかしながら、より低いフィラー含量(=高熱膨張率)で良い結果が得られ
た。多分温度変化の間、パッケージ中に生ずる複雑な複合的曲げやせん断が
はんだの疲労予測をより不確実にするのであろう。基材とUF構造内で生ずる
局部的しなやかさが、従来のモデル予測よりもFCはんだ接合を永続させるの
かもしれない。

試験パッケージと実装
・ダイ:12.0×10.6mm、厚さ0.625mm、バンプ共晶錫/鉛はんだ ピッチ
   240μ バンプ898ヶ、外辺に6列、デージー鎖5組、パッシベーション
   樹脂はBCB使用
・基材:40×40mm、厚さ0.5mm、7層VCP(図1)バッドの表面仕上、無電解
   Ni5μ、 浸漬金0.05μ、はんだコート
・補強剤:銅板、厚さ0.625mm、Ni/Auメッキ
 17.64mm口を切り出して基材に接着。
・UF材料:実績のある樹脂、フィラー20、40、55%、物性表1
      表1、図1、3(省略)

・UFフィレット:モデル解析では最少量のフィレットがダイ外周にできる
ようUFを吐出すると故障発生を抑制する。全てダイの一辺に吐出、半数
のサンプルでは残りの3辺にもシールフィレットが形成されていた。
・パッケージ:UF材料3種、各々UFフィレット有/無、各35ヶ、総計210ヶを
 標準プロセスで組立てた。
ベーキング(基材乾燥のため) 125℃4Hr
バンプ付ダイへ無洗浄用フラックス厚さ37μ塗布後ダイ搭載
リフロー(ダイのはんだ付) ピーク温度240℃、窒素気流下
・検 査:5組のデージー鎖の連続を電気的にチェックした。
・UF:酸素プラズマに5分間曝露、UF注入時パッケージ温度80℃
150℃60分硬化、はじめ低温で15〜30分キュアするとパッケージの反り、
ダイクラックが減少したが、問題を故意に明瞭にするため、この低温で
の低応力硬化は採用しなかった。
・BGAリフロー(母基板への実装を想定):ピーク温度225℃

普通の応用ではUF後、ダイはカバー板で保護されるが、CSAM測定のためカ
バーを付けていない。これは最小フィレットの試料で、UFは上辺に沿って
吐出された。図3はFCはんだ接合断面をSEM(走査型電子顕微鏡)で撮影し
た像である、ダイと基材の両面ともよくぬれており、均一なはんだ層が明
確に観察される。フィラーの凝集は最少で、UFはバンプに良く接着してい
る。無洗浄フラックス残渣が僅かに見られる。
     
実 験
パッケージの故障は、FCバンプ網の4点電気抵抗上昇で決定した。試料の数
が多いので、連続監視は行わず、熱衝撃テストを中断して室温で測定した。
ワイブル累積故障プロットから特性寿命と形状指数を求めた。

より詳しくは、www.eleshow.com/ の海外技術情報をクリックし、2002.
1.31号をご覧下さい。図表入りで詳しく書いてあります。

また、全文をお読みになりたい方は、10月16日に発刊しました「2001最新
海外FC/CSP実装技術」をお求めください。(A4版100頁\48,000)
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